半導(dǎo)體設(shè)備以及LCD設(shè)備之關(guān)鍵零組件及耗材多應(yīng)用于前段制程,如：離子植入,微影顯像,化學(xué)氣相沈積成膜,蝕刻,濺鍍,洗凈,長晶等制程設(shè)備,其中有一大部份是使用在真空腔體環(huán)境中 ,也因在真空腔體環(huán)境下長時(shí)間使用化學(xué)氣體的情況下,腔體內(nèi)部所需使用的零件就特別需要注意是否可以耐酸堿,耐腐蝕,耐磨擦…等。